该高速集成电路制造晶圆倒片机每小时 300 片以上的倒片速度指标达国际先进水平，成为国内首创的高速集成电路制造晶圆倒片机，可用于 14 纳米集成电路制造，打破了国际垄断。
据悉，在2019年12月，京仪装备研发出了国内首台晶圆自动翻转倒片机，从此宣告我国突破该系列设备的国产化难题。
关于晶圆倒片机
晶圆倒片机是一种用于调整集成电路生产线上晶圆生产材料顺序位置的设备。
晶圆倒片机的任务是在进入下一个工序之前，对生产线上的晶圆进行批处理、合并和翻转，这要求晶圆翻转器具有高传输效率和清洁度。
晶圆倒片机的任务是在进入下一个工序之前，对生产线上的晶圆进行批处理、合并和翻转，这要求晶圆翻转器具有高传输效率和清洁度。
京仪设备相关负责人表示，用于高速集成电路制造的晶圆倒片机在晶圆接触点方面不同于业界广泛使用的高速翻转真空装置。
高速集成电路制造晶圆倒片机经过研发，选用特殊材料，避免了真空器件工作时容易吸附颗粒的问题。可应用于14纳米IC产品和高纯化要求的较高工艺。
高速集成电路制造晶圆倒片机经过研发，选用特殊材料，避免了真空器件工作时容易吸附颗粒的问题。可应用于14纳米IC产品和高纯化要求的较高工艺。
